水下γ能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線,根據(jù)特征x射線的波長,定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析,以及特定區(qū)域之point、linescan、mapping分析。
水下γ能譜儀工作時(shí),當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測(cè)器后,在Si(Li)晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對(duì)。產(chǎn)生一個(gè)空穴對(duì)的平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對(duì)的數(shù)目為N=△E/ε,因此,入射X射線光子的能量越高,N就越大。
水下γ能譜儀利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對(duì),經(jīng)過前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù),這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。
水下γ能譜儀分析數(shù)據(jù)注意事項(xiàng):
1、主要用于元素的定性分析;
2、能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素,波譜儀可以分析原子序數(shù)從4~92之間的所有元素;
3、EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析;
4、點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素;
5、線分析每次對(duì)一條線做一種元素分析,多次掃描得到所有元素的線分布;
6、面分析對(duì)一個(gè)面內(nèi)的所有元素分析,測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值;
7、EDS做微區(qū)分析時(shí)所激發(fā)的體積為10um3左右;
8、EDS常常與SEM結(jié)合使用,可對(duì)目標(biāo)部位進(jìn)行點(diǎn)、線、面形貌掃描和成分分析;
9、檢測(cè)極限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般為1~5微米。